德國SPS旋涂機光學設備POLOS 450參數(shù)

POLOS為半導體、生命科學、食品、實驗室和制藥行業(yè)提供設備，特別是有針對性的支持；大學、R&D研究所和小型生產設施。我們的產品組合包括用戶友好和高度耐用的系統(tǒng)，主要在光刻和處理過程領域。

我們的波羅單晶片旋轉涂布機可在NPP或PTFE。這些高質量的旋涂機是專門為R&D和MEMS、半導體、生命科學、光伏、微流體等領域的小批量生產而設計的。適用于所有典型的旋轉過程:清洗，沖洗/干燥，涂層，顯影，玻璃載玻片和蝕刻。

產品說明
POLOS 450高級單襯底自旋處理器，臺式，帶NPP外殼、自旋杯、手動化學分配和重型馬達。符合空氣動力學的高效處理室提高了均勻性，而天然聚丙烯或不銹鋼處理室保證了無污染、易于清潔的處理區(qū)域。所有裝置都具有可編程的順時針和逆時針旋轉和攪拌功能。

干燥、沖洗/清潔和自動涂布

規(guī)格:

高達500毫米的圓形和350 x 350毫米的方形基板
材料:天然聚丙烯(高等級NPP、工具主體和所有浸濕表面)
手動化學品分配2條自動靜態(tài)分配線
氣動蓋子打開和關閉
卡盤適配器和一個真空卡盤，適用于多達3種晶片尺寸
最大速度1500轉/分
自動順序或并行化學分配器
透明蓋子，中心周圍有6個注射器組件。(每個可獨立編程)
順時針和逆時針旋轉水坑
帶有可定制圖標的(可拆卸)彩色觸摸屏
標準1英寸排水接頭
精密數(shù)字電機控制器(最高1500轉/分)
用于容納6x蠕動泵的獨立模塊

德國SPS旋涂機光學設備POLOS 450參數(shù)